超純氮氣/N2

發布日期：2015-12-12 12:10:00

簡要描述：

超純氮氣氣體名稱規格主要用途氣體純度%氣體裝量鋼瓶體積/L閥門型號超純氮N6.013MPa40G5/8　在電子工業中高純氮氣是半導體集成電路生產工藝不可缺少的保護氣、載氣。N6.013MPa40CGA580N6.013MPa40CGA540　純氮、高純氮、超純氮（GB/T8979-2008)項目名稱指標超純氮高純氮純氮氮氣（N2)的體積分數/10-2≥99.999999.99999.99氧氣（O2)的體積分數/10-6≤0.1350氬（Ar）的體積分數/10-6≤2——氫氣（H2)的體積分數/10-6≤0.1115一氧化碳（CO)的體積分數/10-6≤0.115二氧化碳（CO2)的體積分數/10-6≤0.1110甲烷（CH4)的體積分數/10-6≤0.115水分/10-6≤0.5315注：表中純度和含量均以體積分數表示（V/V)。