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三氯化硼/BCL3

三氯化硼/BCL3

發(fā)布日期:2017-03-20 13:00:00

簡(jiǎn)要描述:

1、高純?nèi)然鹬饕糜冢ü瑁┌雽?dǎo)體器件制造工藝中的擴(kuò)散摻雜(在高溫下,經(jīng)過(guò)分解生成硼雜質(zhì)向硅中擴(kuò)散,形成P型半導(dǎo)體)、離子注入(作為離子注入源,高能量作用下使硼原子離子化,產(chǎn)生硼離子束并注入硅形成P型淺結(jié))、干法蝕刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻)等過(guò)程;
2、可作為許多有機(jī)反應(yīng)中的優(yōu)良催化劑及醫(yī)藥工業(yè)的中間體。

詳細(xì)介紹

三氯化硼 (BCl3)

 

項(xiàng)目名稱

純度指標(biāo)(%)

三氯化硼

≥99.999 ≥99.9

雜質(zhì)含量(ppm)

 

氧氣(O2)

≤1 -

氮?dú)猓∟2)

≤4 -

二氧化碳(CO2)

≤2 -
甲烷(CH4) ≤0.5

-

一氧化碳(CO) ≤0.5

-

四氯化硅(SiCl4) -

≤300

氯氣(Cl2) -

≤10

其他(Others) -

≤500

 

裝:采用44L、47L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中。

 

用途:

1、高純?nèi)然鹬饕糜冢ü瑁┌雽?dǎo)體器件制造工藝中的擴(kuò)散摻雜(在高溫下,經(jīng)過(guò)分解生成硼雜質(zhì)向硅中擴(kuò)散,形成P型半導(dǎo)體)、離子注入(作為離子注入源,高能量作用下使硼原子離子化,產(chǎn)生硼離子束并注入硅形成P型淺結(jié))、干法蝕刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻)等過(guò)程;

2、可作為許多有機(jī)反應(yīng)中的優(yōu)良催化劑及醫(yī)藥工業(yè)的中間體。

 

理化性質(zhì): 

無(wú)色發(fā)煙液體或氣體(有毒、不燃),有強(qiáng)烈刺激性、酸性氣味,易潮解,在潮濕的空氣中可產(chǎn)生濃密白煙,在水中分解為鹽酸和硼酸,在醇中分解為鹽酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使鹽與強(qiáng)酸產(chǎn)生離子作用。

 

注意事項(xiàng):

1、嚴(yán)加密閉,操作場(chǎng)所應(yīng)提供充分的局部排風(fēng)和全面通風(fēng),并配備應(yīng)急處理設(shè)備。操作人員須經(jīng)過(guò)安全培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員帶防毒面具,戴橡膠手套,并防止氣體泄漏到工作場(chǎng)的空氣中,避免與水接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕拿輕放或用合適的手推車(chē)來(lái)移動(dòng)鋼瓶,一定不要拉,滾動(dòng),滑動(dòng)或放倒鋼瓶,不要試圖抓住氣瓶的蓋來(lái)拎起它。氣瓶在使用的全過(guò)程中為固定狀態(tài),用一個(gè)獨(dú)立的控制閥安全地從氣瓶?jī)?nèi)釋放氣體。一旦鋼瓶接好,應(yīng)仔細(xì),緩慢的打開(kāi)閥門(mén)。如果使用者在操作氣瓶閥時(shí)有困難,需停止使用,并與供應(yīng)商聯(lián)系。 不可將工具(如:扳手,螺絲刀,等)插入鋼瓶蓋內(nèi)。否則會(huì)損壞閥門(mén)并引起泄漏。 使用可調(diào)節(jié)的扳手來(lái)打開(kāi)過(guò)緊或生銹的鋼瓶蓋。不要用明火或其他臨近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。碳鋼、普通不銹鋼、Monel蒙乃爾合金(Ni-Fe-Cu)及銅可以在沒(méi)有潮氣的情況下使用。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)、鉑及金有很好的抗腐蝕性,可以在有潮氣的情況下使用。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)、PVC(聚氯乙烯)可以作為墊圈材料。

2、儲(chǔ)存于陰涼與通風(fēng)的安全庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源,庫(kù)溫最好保持在35℃以下(最高存儲(chǔ)溫度不可高于52℃)。鋼瓶應(yīng)直立擺放,保持容器(閥門(mén))密封完好并安裝鋼瓶蓋。應(yīng)與其它化學(xué)品分開(kāi)存放,儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

 


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