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茂圖氣體設備（上海）有限公司茂圖氣體-高純乙烯C2H4、甲基三氯硅烷MTS、氧化亞氮N2O、氯化氫HCL、氯氣CL2、三氯氫硅TCS、二氯二氫硅DCS、四氯化硅SiCl4、八氟丙烷C3F8、三氟甲烷CHF3、六氟乙烷C2F6、八氟環丁烷、六氟丁二烯、三氟化氮、氘氣、硅烷、氨氣、四氟化碳、三氯化硼、三氟化硼、乙硅烷、六氟化鎢、溴化氫、一氟甲烷、二氟甲烷、羰基硫、四氟化硅、三氟碘甲烷、碳酰氟

服務熱線

400-108-9171

電子混合氣

發布日期：2015-06-25 17:58:00

簡要描述：

產品規格品名濃度(%)平衡氣體壓力(MPa)容積(L)閥門硅烷混合氣體0.5-50Ar、N2、He、H25-124-47可根據用戶要求提供磷烷混合氣體5ppm-23Ar、N2、He、H25-120.7-17硼烷混合氣體5ppm-10Ar、N2、He、H25-104-17砷烷混合氣體5ppm-5Ar、N2、He、H25-120.7-17硒化氫混合10ppm-5Ar、N2、He、H25-124-17乙硅烷5ppm-2Ar、N2、He、H2≥50.7-17鍺烷5ppm-0.5Ar、N2、He、H2≥50.2-17包裝：1-40（升）瓶裝，標準充裝壓力：9.5MPa，組分和濃度范圍可根據要求配制。

產品規格

品名	濃度 (%)	平衡氣體	壓力(MPa)	容積(L)	閥門
硅烷混合氣體	0.5-50	Ar、N₂、He、H₂	5-12	4-47	可根據用戶要求提供
磷烷混合氣體	5ppm-23	Ar、N₂、He、H₂	5-12	0.7-17
硼烷混合氣體	5ppm-10	Ar、N₂、He、H₂	5-10	4-17
砷烷混合氣體	5ppm-5	Ar、N₂、He、H₂	5-12	0.7-17
硒化氫混合	10ppm-5	Ar、N₂、He、H₂	5-12	4-17
乙硅烷	5ppm-2	Ar、N₂、He、H₂	≥5	0.7-17
鍺烷	5ppm-0.5	Ar、N₂、He、H₂	≥5	0.2-17