氨氣 （NH3)

包裝：采用40L、44L、47L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要，分裝到8—10L的氣瓶中。

用途：用于晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜

理化性質: 通常為無色有強烈刺激性氣味，常溫下加壓可液化，臨界溫度132.9℃，臨界壓力11.38MPa，常壓下冷卻到－33.35℃時液化。液氨揮發性很強，氣化時吸熱很大，在－77.75℃時凝固成無色結晶。氨極易溶于水，并放出熱量。氨的水溶液稱為氨水，呈弱堿性，易揮發。自燃點630℃，在空氣中遇火能爆炸。

常溫、常壓下在空氣中的爆炸極限為16％～28％（體積）。

注意事項：

1、工作時應選用耐腐蝕的工作服、防堿手套、眼鏡、膠鞋、用硫酸銅或硫酸鋅防毒口罩，防毒口罩應定期檢查，以防失效。

2、在使用氨水作業時，應在作業者身旁放一盆清水，以防萬一；在氨水運輸過程中，應隨身攜帶2~3只盛滿3%硼酸液的水壺，以備急救沖洗；配制一定濃度氨水時，應戴上風鏡；使用氨水時，作業者應在上風處，防止氨氣刺激面部；操作時要嚴禁用手揉擦眼睛，操作后洗凈雙手。

3、配備良好的通風排氣設施、合適的防爆、滅火裝置。

4、工作場所禁止飲食、吸煙、禁止明火、火花。

5、應急救援時，必須佩帶空氣呼吸器。

6、發生泄漏時，將泄漏鋼瓶的滲口朝上，防止液態氨溢出。

7、加強生產過程的密閉化和自動化，防止跑、冒、滴、漏。

8、使用、運輸和貯存時應注意安全，防止容器破裂和冒氣。

9、現場安裝氨氣監測儀及時報警發現。